Vorhersage der Schichtdicke von duennen Polymerfilmen beim Spincoating Verfahren unter Beruecksichtigung der spezifischen Geraeteparametern des Spincoaters (Diplomarbeit)

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URL: https://publications.hereon.de/id/19528/
Authors:Dunkel, T.
Year:2000
University: Fachhochschule Aachen, FB Physikalische Technik
Cite as: Dunkel, T.: Vorhersage der Schichtdicke von duennen Polymerfilmen beim Spincoating Verfahren unter Beruecksichtigung der spezifischen Geraeteparametern des Spincoaters (Diplomarbeit). 2000.