%0 thesis
%@ 
%A Dunkel, T.

%D 2000
%J 

 

%T Vorhersage der Schichtdicke von duennen Polymerfilmen beim Spincoating Verfahren unter Beruecksichtigung der spezifischen Geraeteparametern des Spincoaters (Diplomarbeit)
%U 
 
%X