@misc{bormann_materialwissenschaftliche_aspekte_1993, 
author={Bormann, R.},
title={Materialwissenschaftliche Aspekte bei der Mikrostrukturierung von elektronsichen Bauelementen},
year={1993},
howpublished = {lecture: TU Hamburg-Harburg;},
note = {Bormann, R.: Materialwissenschaftliche Aspekte bei der Mikrostrukturierung von elektronsichen Bauelementen. TU Hamburg-Harburg, 1993.}}