%0 report part %@ %A Pfuff, M.,Brocks, W. %D 2001 %J Material- und Verfahrensentwicklung fuer mikrotechnische Hochleistungsbauteile, Strategiefondsprojekt der Hermann von Helmholtz-Gemeinschaft Deutscher Forschungszentren %N %P 83-87 %T Simulation von Kontakt und Verschleiss an keramischen Mikrosystembauteilen %U %X