%0 conference lecture
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%A Wiener, G.,Michaelsen, C.,Guenther, R.,Knoth, J.,Schwenke, H.,Bormann, R.
%D 1994
%J Vortrag an der Technischen Fakultaet der Universitaet Kiel
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%T Quantitative Tiefenprofilanalyse durch Kombination von Sputtertechniken mit Totalreflexions-Roentgenfluoreszensanalyse
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