@misc{beaven_target_und_2006, 
author={Beaven, P.,Knoth, J.,Schwenke, H.,Lahmann, W.,Schneider, H.,Kiehn, R.,Buhrz, J.,Stahlbock, D.},
title={Target- und Analysenkammer fuer die Oberflaechenanalyse von Si-Wafern mit Laser-Plasma-induzierter Roentgenstrahlung},
year={2006},
howpublished = {report},
note = {Online available at: \url{} (DOI). Beaven, P.; Knoth, J.; Schwenke, H.; Lahmann, W.; Schneider, H.; Kiehn, R.; Buhrz, J.; Stahlbock, D.: Target- und Analysenkammer fuer die Oberflaechenanalyse von Si-Wafern mit Laser-Plasma-induzierter Roentgenstrahlung. 2006.}}