@misc{dunkel_vorhersage_der_2000, 
author={Dunkel, T.},
title={Vorhersage der Schichtdicke von duennen Polymerfilmen beim Spincoating Verfahren unter Beruecksichtigung der spezifischen Geraeteparametern des Spincoaters (Diplomarbeit)},
year={2000},
howpublished = {thesis: Fachhochschule Aachen, FB Physikalische Technik},
note = {Online available at: \url{} (DOI). Dunkel, T.: Vorhersage der Schichtdicke von duennen Polymerfilmen beim Spincoating Verfahren unter Beruecksichtigung der spezifischen Geraeteparametern des Spincoaters (Diplomarbeit). Fachhochschule Aachen, FB Physikalische Technik, 2000.}}