@misc{bormann_materialwissenschaftliche_aspekte_1991, author={Bormann, R.}, title={Materialwissenschaftliche Aspekte bei der Mikrostrukturierung von elektronsichen Bauelementen}, year={1991}, howpublished = {lecture: TU Hamburg-Harburg; SS 1991}, note = {Online available at: \url{} (DOI). Bormann, R.: Materialwissenschaftliche Aspekte bei der Mikrostrukturierung von elektronsichen Bauelementen. TU Hamburg-Harburg, 1991.}}