%0 report
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%A Beaven, P.,Knoth, J.,Schwenke, H.,Lahmann, W.,Schneider, H.,Kiehn, R.,Buhrz, J.,Stahlbock, D.

%D 2006
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%T Target- und Analysenkammer fuer die Oberflaechenanalyse von Si-Wafern mit Laser-Plasma-induzierter Roentgenstrahlung
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